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半導體參數測試系统
吉時利S530半導體參數測試系統架設在製程控制監控、,製程可靠性監測和元件特性分析的所有的DC和CV量測,並設計用於涉及範圍廣泛元件和技術的生產和實驗室應用環境。
Series S530 Parametric Test Systems
  • 業界最高成本效益的自動參數測試儀
  • 相容於常見的全自動探針系統
  • 外部配線使探針界面的靈活性最大化
  • 支援5英寸探針卡庫
  • 成熟的儀器技術確保高量測精度和可重復性
Series S530 Parametric Test Systems
  • pA電流量測功能
  • 低漏電流量測完整性
  • 20W SMU最高可提供1A電流和200V電壓
  • 可配置多達8個SMU和60個接腳
  • 可選的轉接器擴展探針具有漏電流抑制能力
  • 相容於常見的全自動探針系統
  • C-V量測高達1MHz
Series S530 Parametric Test Systems
  • 最高可提供10mA下1000V的電壓源
  • 支援高壓漏電流和崩潰測試
  • 低漏電流量測完整性
  • 具有pA電流量測功能
  • 20W SMU最高可提供1A電流和200V電壓
  • 可配置最多7個SMU和32個接腳
  • 可選的轉接器擴展探針具有漏電流抑制能力
  • 相容於常見的全自動探針系統
  • C-V量測高達1MHz
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